全新日本CKD先導(dǎo)式減壓閥

確認(rèn)已將本產(chǎn)品的調(diào)壓旋鈕向逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)到底后，
口壓力。關(guān)閉出口側(cè)和進(jìn)口側(cè)閥門，低放置10分鐘，確認(rèn)
內(nèi)，出口壓力穩(wěn)定后至少放置10分鐘，
請(qǐng)通過(guò)打開(kāi)操作緩慢將進(jìn)口側(cè)供應(yīng)閥打開(kāi)，提供進(jìn)
與過(guò)去用焊接接頭構(gòu)成的系統(tǒng)相比，可大幅節(jié)省空間。
本系統(tǒng)是專為半導(dǎo)體設(shè)備供氣管路而開(kāi)發(fā)的，
體隔板及上閥蓋軸孔部位鑲有銅套，
可減小與O形圈間的摩擦力矩，
密封組件開(kāi)啟與關(guān)閉靈活，操作力矩小。
出口壓力是否上升。順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)
調(diào)壓旋鈕，將出口壓力調(diào)整到調(diào)壓范圍
是一種將按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)化的表面安裝型氣控閥
•流量控制器等進(jìn)行緊湊型集約化的產(chǎn)品。
調(diào)整塊和調(diào)節(jié)螺釘在兩組密封組件不能
同步到位時(shí)可起調(diào)整作用，確保各通道密封**同步到位。
再確認(rèn)出口壓力是否上升。
切合客戶的需求，進(jìn)行布局
工作時(shí)借著閥外的驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸，
帶動(dòng)搖拐臂，啟動(dòng)閥板，使工作流體時(shí)而從
左入口通向閥的下部出口，時(shí)而從
右入口變換通向下部出口，實(shí)現(xiàn)了周期變換流向的目的。